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污染控制

出色的痕量杂质分析灵敏度与污染控制

随着集成电路中半导体元件尺寸的不断缩小,痕量污染物(尤其是金属)对产量的影响越来越大。只有诸如 Agilent 8800 串联四极杆 ICP-MS 和 7900 ICP-MS 之类的仪器才能提供有效测定半导体纯度、颗粒物和包装所需要的高灵敏度。

我们新一代的超高灵敏度技术引领着污染控制领域的发展,Cary 600 系列 FTIR 和 ExoScan 也可实现浅表杂质检测。我们的解决方案针对半导体用户可提供全套样品处理、自动化工具和超一流技术支持架构,能够直接分析化学物质,有效避免了稀释及样品污染问题。