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纳米技术仪器

实验室用电子显微镜

纳米技术仪器应用(如电子显微镜)在灵敏度、分辨率、样品通量和测量重现性方面具有非常苛刻的性能要求,这些要求源自半导体和生命科学应用中针对更小样品的分析需求。在半导体行业中,更高的灵敏度是获取优质样品分辨率的关键因素之一。集成电路的生产过程包括许多复杂的步骤,在工艺室的真空条件下需要使用高纯度气体。各种半导体应用(如显微光刻法、低压化学气相沉积、离子束蚀刻、溅镀、离子束注入和分子束外延生长)均要求维持高真空环境。输送气体的分配系统必须密封严实以防止泄漏,以维持气体纯度。工艺气体的组分通过氦气检漏来进行测试。